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진공펌프 백업(사용안함)

    ▣ 진공의 정의

    진공이란 가스분자가 전혀 없는 공간이 아니라, 희박한 상태를 말한다. 가스분자가 전혀 없는 절대진공은 만들 수 없다. 1기압은 토리첼리의 수은제로 760cm가 되고 토리첼리의 이름을 따서 1기압을 760토르(Torr)라고 한다. 최근에는 국제 단위가 파스칼(Pascal)로 바뀌었으며 1토르는 133파스칼이다.

    진공은 가스분자의 운동과 매우 밀접한 관계를 갖고 있으며 역실적으로 진공이라 함은 공간내에서 가스분자의 수가 대기의 가스분자수보다 상대적으로 적은 상태를 나타내는 것이다. 가스분자의 수를 계산할때는 표준상태에서의 아보가드로 수를 적용하여야 한다. 즉 0℃ 1기압에서는 22.4리터 체적의 공간에 6x10²³개의 가스분자가 있다. 이를 1cm³의 공간에 약 1,000개의 가스 분자가 존재한다. 이것은 지구와 달의 중간, 지구와 태양의 중간, 혹은 은하계 우주공간의 진공과 거의 비슷하다. 이들 진공은 조금씩 다르다고 한다. 따라서 고진공으로 올라 갈수록 공간내의 기체 분자수는 비례하여 줄어들게 되며 가스분자 수를 인공적으로 줄어들게 하는 것이 바로 진공 펌프인 것이다.

    진공에 대한 정의는 여러가지로 설명되고 있지만 진공 기술에 관한 국제적인 규격을 제시하고 있는 ISO(International Standard Organization)와 AVS(American Vacuum Society)의 기준에 따르면 다음과 같이 정의된다. "진공이란 대기압보다 낮은 상태의 압력을 의미하거나 분자 밀도가 2.5 x 10¹ⁿ 분자/cm³ 보다 작은 경우를 의미한다."

    ▣ 왜 진공을 만들어야 하는가?

    웨이퍼 표면에 특정 이물질을 증착 하고자 할 때 진공도가 낮을 경우 웨이퍼를 챔버에 넣고 얼마되지 않아 (수초안에)웨이퍼에 원하는 이물질보다 다른 이물질의 원자들이(챔버안에 있던)웨이퍼 표면에 증착되어 정작 원하는 이물질의 원자는 그 위에 증착되게 되어 원하는 작업을 할 수 없게 된다. 그러나, 진공도가 높을 경우 챔버안의 이물질들이 웨이퍼 표면에 증착되는데 걸리는 시간이 길어져(수시간) 고순도의 원하는 이물질을 표면위에 원하는 만큼 증착할 수 있다. 이는 챔버안의 공기분자의 밀도가 희박해져 공기 분자들의 평균 자유 행로가 길어져 그 만큼 웨이퍼 표면에 도달하는 시간이 길어지게 된다.

    ▣ Vacuum Pump Overhaul

    Type Maker Model
    Dry
    Edwards (I)QDP 40 / 80 Dry Pump
    QMB250 / 500 / 1200 / 2600 / 4200 Booster
    IH80 / 600 / 1000 / 1800
    IF30K / 60K
    IGX / GV Series
    Alcatel ACP15 ~ ADS1803
    Ebara A07V ~ AAS300W
    Kashiyama SD60VII ~ SDE120H
    Turbo Seikoseiki STP-H200C ~ STP-XA3703
    Leybold TMP151 / 340MCT / 361C
    MAG400C / 830 / 1300CT / 1500 / 2000C / 2200CT/2800 / 3200CT
    Cryo CTI CT-100, 4F, B, 250, 10, 400, OB-4F, 8, 250F, 10, 400
    ULVAC U6H, U8H, U10H, U12H, U16, U20P, U20P, U22H
    국내.외 Rotary Pump 全Maker Model Overhaul 가능
    Maker Type Model
    EDWARDS Two Stage Series E2M0.7 / E2M1.5 / E1M18 / E2M18 / E2M28
    RV Series RV-3 / RV-5 / RV-8 / RV-12
    EM Oil Sealed Series E1M40 / E2M40 / E1M80 / E2M80 / E1M175 / E2M175 / E1M275 / E2M275
    LEYBOLD S / D series S1.5 / D2.5E / D4B / D8B
    D16BCS / D25BCS / D40BCS / D65BCS / D16B / D25B / D40B / D65B
    SV series SV-10B / SV-16B / SV-25B / SV-40B / SV-65B / SV-100B / SV-200 / SV-300
    KODIVAC GHP series GHP-150 / GHP-240 / GHP-340 / GHP-550 / GHP-800 / GHP-1000
    VARIAN HS / DS series HS452 / HS652 / DS42 / DS102 / DS202 / DS302 / DS402 / DS602
    ULVAC G/GCD/GLD/GHD/GVD G5-G100D / GCD-051X / GCD-136X / GCD-201X / GVD-051 / GLD-051

    ▣ 진공펌프 구분

    진공펌프의 구분 TYPE 진공현성 압축가능 SINGLE가동 진공도 공정기능
    ROTARY IMPALAR OIL(습식) 압축가능펌프 OK 10⁻³ torr 가스처리용
    DRY CLAW
    LOBE
    ROOTS
    SCREW
    Gap(건식) 압축가능펌프 OK 10⁻³ torr 가스처리용
    BOOSTER ROOTS Gap(건식) 증폭펌프 NO 10⁻³ torr 가스처리용
    TURBO TURBIN 분자(건식) 증폭펌프 NO 10⁻⁶ torr 이하 가스처리용
    CRYO 포획 분자흡착(Ice) 증폭펌프 NO 10⁻⁶ torr 이하 수분공정용/고진공용
    DIFFUSION 오일분사 분자(습식) 증폭펌프 NO 10⁻⁶ torr 이하 가스처리용