KCT with people and technology

반도체사업 백업(사용안함)

    ▣ N2 Purge Kit Technology

    Natural oxide가 자라는 것을 방지하기 위해서는 Si wafer 가 O2에 노출되는 것을 방지하는 방법이 가장 적합한 방법으로 공정진행 후 다음 진행하는 공정 장비까지 도달하는 시간 동안 NPLPM을 사용해 FOUP 내부를 N2로 치환하여 FOUP 내부의 O2 를 제거하여 Natural Oxide가 자라는 것을 억제시키는데 목적이 있다.

    PM에 N2 Purge를 기본 장착 또는 선택 장착하여 장비마다 LPM의 Loading Spec이 틀린 부분으로 인하여 NPK를 교체 장착하는 장비 Down 시간을 감소시키며 또한 선택 옵션으로 간편한 조치로 Process N2 Purge를 사용하는데 있어 장비 내부 장치를 복잡하게 교체하는 문제점을 해소 시키는데 목적이 있다.

    최근 Wafer 공정 진행 후 좁은 패턴으로 인하여 Gas들의 Exhaust가 완전히 되어지지 않는 현상이 나타나고 있다. 100nm 이상의 패턴에서는 크게 이슈로 되어지지 않았는데 100nm이하 에서의 공정 진행에서는 좁은 패턴 내의 잔류 가스들에 의하여 Wafer 또는 이후 Process Chamber에서 공정 진행 중 2차 오염의 발생으로 인하여 반도체 수율에 영향을 미치는 현상이 나타나고 있다. 이에 대하여 N2 Purge는 Foup 내부에서 발생하고 있는 좁은 패턴에서 잔류하고 있는 가스들을 공정 진행 후 Foup 내부에 N2를 LPM에서 Purge를 진행하여 잔류 가스들을 희석시켜 Exhaust 를 완전히 하여 Wafer를 2차 오염원으로 부터 완벽히 보호를 하기 위하는데 목적이 있다.

    ▣ NPK 기술 효과

    Foup 내부 Auto N2 Purge 가능

    Foup 내부의 O2 제거로 Natural oxide 성장 억제 효과 탁월

    간단한 개조로 개조비용 최소화

    기타설비의 LPM에 NPK를 간단히 적용가능(호환 가능) 또는 KCT의 NPLPM을 사용하여
    개조시간 동안의 장비 Down 감소 및 N2 Purge 적용 비용 절감

    FDC Data 자동화 소프트웨어 가능

    Gate Oxide 공정 후 산화 막 성장 방지

    Poly Deposition 공정 전 산화 막 성장 방지

    Etch Back 후 Barrier Metal 공정 진행 전 산화 막 성장 방지

    Natural oxide 성장 방지가 되어 Run 대기 Time 증대로 반도체 수율 및 생산성 향상

    ▣ Wafer Sorter

    Requirement Product Function
    150mm Device

    Operator Maximizing working convenience

    No Tweezers

    Dumping Jig

    Flat Zone Align

    W/F Moving Function

    200mm Device

    Wafer Transfer is automatically changed to develop to Yield

    NO W/F Scratch

    Carrier Safety

    Action to FAB Automation

    Equipment Belief

    W/F Sorter accept

    High Through-put

    Carrier Lock on Stage

    Semi Automation Equipment

    Software by expansion to Split & Sorting function

    300mm Device

    Action to FAB Automation

    W/F Unit information Reader

    Carrier Unit information Reader

    Full Automation Equipment

    Information Up-stream (Wafer ID, Ingot ID)

    Take a action for Hoist, OHT Information Up-stream (RFID, BCR)